《微机电系统》扫描版[PDF]

电驴资源

用户共享的电驴资源列表
[微机电系统].苑伟政.乔大勇.扫描版.pdf	27.18 MB
全选	27.18 MB

资源介绍

语言: 简体中文

地区: 大陆

图书fenlei: 科技

中文名: 微机电系统

发行时间: 2011年3月

资源格式: PDF

版本: 扫描版

简介:

内容介绍：
全书共分为六章，主要内容包括：MEMS发展历程、MEMS理论基础、MEMS基本工艺技术、MEMS设计技术、典型微器件与微系统和微测试技术等，本书可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。
内容截图：

目录: 第1章绪论
第2章微机电系统理论基础
第3章微机电系统制造基本工艺
第4章微机电系统设计
第5章典型微机电器件及系统
第6章微机电系统测试
参考文献