《微机械与微细加工技术》(苑伟政 & 马炳和)扫描版[PDF]

类别:: 资料 - 电子图书
状态:: 精华资源
摘要:: 图书分类: 教育/科技出版社: 西北工业大学出版社发行时间: 2001年01月语言: 简体中文
发布:: 2010-04-22 23:20:49
更新:: 2010-04-22 23:22:06

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[微机械与微细加工技术].苑伟政.马炳和.扫描版.pdf	4.70 MB
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简介:

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微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之一。本书共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构，微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。本书可供从事微机械研究的科技人员使用，也可供相关学科的师生参考。
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